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2021.11.11

化合物半导体——蓝宝石

化合物半导体——蓝宝石
目录

蓝宝石(Al₂O₃)

蓝宝石的成分为氧化铝,因含微量元素钛(Ti4+)或铁(Fe2+)而呈蓝色。属三方晶系,晶体形态常呈筒状、短柱状、板状等,几何体多为粒状或致密块状。透明至半透明,玻璃光泽。折光率1.76-1.77,双折射率0.008,二色性强。非均质体。有时具有特殊的光学效应-星光效应。硬度为9,密度3.95-4.1克/立方厘米。无解理,裂理发育。

序号 项目 规格
1 Material 材料 High Purity Monocystalline Al₂O₃ (≥99.996%)
2 Orientation 表面晶向 Cto M C-plane(0001) off to M-plane (1100) 0.2±0.1°;
0°± 0.1°(A-axis)
3 Orientation 表面晶向 C to A 0.00±0.1°
4 Primary Flat to 主定位边晶向A-plane(11-20) A-plane ± 0.2°
5 Diameter 直径 50.8±0.1mm, 100±0.1mm, 150±0.2mm
6 Thickness 厚度 420~440um, 640-660um,1300mm
7 Flat Length 平边宽 16±1.0mm, 30±1.0mm, 47.5±1.5mm
8 Edge profile 倒边 R倒角
9 TTV ≤5um
10 BOW 0~-10um 
11 Warp ≤15um
12 Front Side Roughness 正面粗糙度 <0.3nm
13 LTV ≤1.8um
14 R向(r-plane) R9
15 Back Side Roughness 背面粗糙度 0.8-1.2um
16 Laser Mark 激光标记 背面打码/Back side
17 Package 包装 25 片/盒,25 pcs/cassette


蓝宝石(Al₂O₃)衬底材料是一种用于LED芯片衬底的材料,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。

相关介绍:

传统的LED芯片采用正装结构,上面通常涂敷一层环氧树脂,下面以蓝宝石作为衬底。一方面,由于蓝宝石的导热性较差,有源层产生的热量不能及时地释放,而且蓝宝石衬底会吸收有源区的光线,即使增加金属反射层也无法完全解决吸收的问题。

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