单晶硅片——单晶硅棒|多晶硅锭

单晶硅棒

什么是硅棒？什么是单晶硅棒？

多晶硅通过直拉法CZ或者区熔法FZ长晶得到的棒状单晶硅材料。一般的硅棒均指单晶硅棒，如果是多晶结构的“硅棒”，我们一般称之为多晶硅碇。单晶硅棒按直接大小可以分成2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸和18英寸，目前市场主流是8英寸和12英寸。单晶硅棒是生产硅片的原材料，其质量好坏，缺陷多少直接影响到硅片的质量。硅片碳含量和氧含量的高低、电阻率均匀性的好坏，以及内部缺陷的多少都是有硅棒长晶的时候决定的。

因此长晶技术是半导体材料的关键核心技术之一， 12英寸以上的长晶技术，只有少数大公司掌握，中国还是追赶阶段。

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