影响化学机械抛光效果的一个很重要因素是抛光液的pH值,抛光液通常分为碱性和酸性两类。不同的pH值对化学抛光去除率和机械作用产生较大的影响。由于酸性抛光液会对抛光部件,如抛光盘、工作台等金属材料的部件有较强的腐蚀作用,因此每次抛光结束后必须对工作台和仪器做及时彻底的清洗,并时时刻刻做好防腐蚀工作。
工业技术的发展对机床和仪器设备精度、速度、可靠性等性能要求越来越高,相比传统的轴承钢,氧化铝、氮化硅、碳化硅等陶瓷球轴承具有使用寿命长、转速高、整体精度和刚度好、热稳定性能好以及无磁性等更优异的综合性能,具有非常广阔的应用前景。
本文主要介绍了液态蜡在半导体领域中芯片抛光环节的使用,以本公司生产的液态蜡为例,具体介绍了液态蜡的各项性能与使用过程中的关联;另外,还介绍了现阶段国内外液态蜡的研究进展现状。