平面研磨机
GRISH平面研磨机主要用于硅片、蓝宝石、玻璃、机械密封件以及铝合金、不锈钢外观件等的的单面研磨或抛光。
产品规格
产品型号项目 | 单位 | PG360-4 |
下研磨盘尺寸(外径×厚度) | mm | Φ914×45 |
上研磨盘尺寸(外径×厚度) | mm | Φ360×40(4pcs) |
单次加工数量 | pcs | 4轴同时加工(片/Run) |
96pcs/2寸、28pcs/4寸、12pcs/6寸 |
加工时间 | min | 180min/Run |
研磨件最高平面度精度/抛光件最高平面度精度 | um | 0.005(Φ80)/0.008(Φ80) |
研磨件表面粗糙度/抛光件表面粗糙度 | um | Ra0.15/Ra0.125 |
加压气缸缸径 | mm | Φ100 |
气源压力 | Mpa | 0.5-0.7Mpa |
下研磨盘转速 | rpm | 10~90rpm(stepless regulating) |
下研磨盘电机 | Kw | 功率15KW,额定转速:1450rpm |
上研磨盘转速 | rpm | 10~90rpm(stepless regulating) |
上研磨盘电机 | Kw | 功率0.4KW(4pcs),额定转速:1450rpm |
外型尺寸(约:长×宽×高) | mm | 1320×2200×2460 |
整机重量 | kg | 4000 |
产品特点
采用变频器调速,起动及停车平稳、无冲击;
抛光机为四工位。将抛光工件贴敷于瓷盘上,下研磨盘由变频电机驱动,转速为5-90r/min可调。上研磨盘四工位独立变频电机驱动,转速5-90r/min可调;
设备采用计时控制,当机器达到预置的抛光时间时,同时本机床具有工件盘数计数功能,能记录每班的工作效率;
设备配有对工件加压抛光的可变加压机构,当加工不同材质、尺寸的工件时,可根据加工工艺要求选择加压抛光时间、加压压力;
采用PLC控制,控制方式灵活可靠;
用触摸屏设置机床的加工参数、显示报警信息和机床状态的实时信息,介面操作便捷,信息量大;
设备上下抛光盘均为水冷盘,可有效控制抛光过程中研磨盘的温度,盘面温度可控制在设定温度±1°范围内。
应用领域
蓝宝石 · LED
不锈钢
适用于磷化铟、砷化镓、碳化硅、氮化镓、氧化镓等衬底材料,
氮化铝、氮化铝、氧化铝等陶瓷基板散热材料,
钽酸锂、铌酸锂、硒化锌、硫化锌、氟化钡、氟化钙等光学晶体材料。
能够有效降低被加工晶片的划伤率,成品合格率高达95%以上,损伤层<5μm,表面光洁效果好,研磨抛光效率能提高2-3倍,耗材使用量较传统工艺节省30-40%,与海外同类产品相比拥有明显性价比优势!
(以上数据来源于国瑞升实验室测试数据,仅做参考,实际情况依据客户不同而有所变动)


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北京国瑞升科技股份有限公司成立于2001年6月,是国内专业从事研发、生产、经营超精密研磨抛光材料的国家级高新技术企业,是具有多项国际国内自主知识产权、多年产品技术研发经验和众多客户应用实践沉淀的业界先驱。
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