氧化硅抛光液
我公司氧化硅抛光液是以高纯硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品,广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅晶圆片、锗片、化合物半导体材料砷化镓、磷化铟,精密光学器件、蓝宝石片等的抛光加工。具有应用领域广、抛光效率高、杂质含量低、抛光后容易清洗等特点。如:硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。可生产不同粒度(10~150 nm)的产品满足用户需求。根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。
产品规格
碱性型号(pH:9.8±0.5) | SOQ-2A | SOQ-4A | SOQ-6A | SOQ-8A | SOQ-10A | SOQ-12D |
酸性型号(pH:2.8±0.5) | ASOQ-2A | ASOQ-4A | ASOQ-6A | ASOQ-8A | ASOQ-10A | ASOQ-12D |
粒径(nm) | 10~30 | 30~50 | 50~70 | 70~90 | 90~110 | 110~130 |
外观 | 乳白色或半透明液体 | |||||
比重 | 1.15±0.05 | |||||
组成 | 成份 | 含量(w%) | ||||
SiO2 | 15~30 | |||||
Na2O | ≤0.3 | |||||
重金属杂质 | ≤50 ppb |
产品的特点:
高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的(可以生产150 nm)
粒度可控,根据不同需要,可生产不同粒度的产品(10-150 nm)
高纯度(Cu2+含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污
高平坦度加工,本品抛光是利用SiO2的胶体粒子,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工
应用领域
光通讯行业