单晶硅片——单晶硅棒|多晶硅锭

单晶硅片——单晶硅棒|多晶硅锭

2021-11-11 11:01:33 0

单晶硅棒

什么是硅棒?什么是单晶硅棒?

多晶硅通过直拉法CZ或者区熔法FZ长晶得到的棒状单晶硅材料。一般的硅棒均指单晶硅棒,如果是多晶结构的“硅棒”,我们一般称之为多晶硅碇。单晶硅棒按直接大小可以分成2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸和18英寸,目前市场主流是8英寸和12英寸。单晶硅棒是生产硅片的原材料,其质量好坏,缺陷多少直接影响到硅片的质量。硅片碳含量和氧含量的高低、电阻率均匀性的好坏,以及内部缺陷的多少都是有硅棒长晶的时候决定的。

因此长晶技术是半导体材料的关键核心技术之一, 12英寸以上的长晶技术,只有少数大公司掌握,中国还是追赶阶段。

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Diameter2" 3" 4" 5" 6" 8" 
Grade Prime 
Growth MethodCZFZ
Orientation < 1-0-0 > , < 1-1-1 > , < 1-1-0 >
Type/DopantP Type/Boron , N Type/Phos,  N Type/As, N Type/Sb
Oxygen Content8-18 ppma
Carbon Content

Resistivity 0.001 - 100 ohm-cm
Life Time>50us







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